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干式螺杆真空泵都被应用在哪些行业?
编辑:上海诚叶真空设备有限公司   发布时间:2018-10-17

干式螺杆真空泵是使用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而发生的吸气和排气效果的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校对,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有必定的空隙,因而泵作业时,相互之间无磨擦,作业平稳,噪音低,作业腔无需润滑油,因而,干式螺杆泵能抽除含有很多水蒸汽及少数粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免修理等长处。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

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