欢迎到 - 上海诚叶真空设备有限公司!
上海诚叶真空设备有限公司
服务热线

021-59740956

行业知识
您现在的位置: 首页 > 行业知识 > 内容
无油立式真空泵的应用范围有哪几个方面?
编辑:上海诚叶真空设备有限公司   发布时间:2019-11-13

  现在,真空行业运用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。无油立式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,并且泵的极限压力与油封式真空泵平等量级或者挨近的机械真空泵。

  随着科学技术的开展以及真空应用领域的扩展,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的保护成本。其次,由于某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。

  关于一般的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流,但不能彻底解决问题,并且使系统显得杂乱。而运用适当型式的无油立式真空泵,则可以达到抱负的运用效果。

  无油立式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

  1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

  2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

  3)除半导体工艺外的某些发生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的无油立式真空泵可以满足要求;

  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要避免有机溶剂形成污染,适合用干式真空泵;

  5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以避免油污染。

  近年来,无油立式真空泵得到迅速的开展,国外多家大真空公司都研发出了新式的干式械真空泵。现在,无油立式真空泵主要分为触摸型及非触摸型。触摸型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非触摸型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。

:罗茨水环真空机组|干式螺杆真空泵|罗茨水环真空机组|双级水环真空泵

:021-59740956  手机:13311844889  电子邮箱:chengyesell@163.com

地址:上海市青浦区白鹤镇外青松公路3547弄2号

版权所有:上海诚叶真空设备有限公司手机版